Ön Arıtma: Su, öncelikle partikül ve organik maddelerden arındırılır. Bu adım genellikle ön filtreler veya çöktürme tankları kullanılarak gerçekleştirilir.

Revers Osmoz (RO) Arıtma: Su, yüksek basınç altında bir membran vasıtasıyla geçirilir. Bu membran, suyun moleküler düzeyde ayrılmasını sağlar, böylece çözünmüş tuzlar ve kimyasal maddeler membranın diğer tarafında kalır. Bu adım, suyu oldukça saf hale getirir, ancak ultra saf su elde etmek için ek adımlar gereklidir.

Deiyonizasyon (DI): Revers osmoz işleminden geçen su, deiyonizasyon ünitelerine yönlendirilir. Bu ünitelerde, suyun içindeki iyonlar (mineral tuzları gibi) ve diğer yüksek molekül ağırlıklı bileşenler çıkarılır. Bu adım, suyun elektriksel iletkenliğini (EC) düşürür ve ultra saf su elde etmede önemli bir rol oynar.

Elektrodeiyonizasyon (EDI): Bazı sistemlerde, deiyonize edilmiş su, elektrodeiyonizasyon sürecine tabi tutulur. Bu süreç, daha da yüksek seviyede iyonları giderir ve suyu ultra saf seviyelere çeker. EDI, sürekli olarak ultra saf su elde etmek için kullanılan bir yöntemdir.

Ultraviyole (UV) Sterilizasyon: Elde edilen ultra saf su, son olarak UV ışığı ile sterilize edilir. Bu adım, suyu mikroorganizmalardan arındırır ve kullanım öncesinde güvenli hale getirir.

Ultra saf su elde etmek için bu adımların kombinasyonu kullanılır. Her adım, suyun kalitesini artırarak, sonunda ultra saf su elde etmeye yardımcı olur. Bu süreçlerin doğru şekilde uygulanması ve suyun kalitesini sürekli olarak kontrol etmek, ultra saf su üretiminde önemlidir.